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超大规模集成电路集成了( ) 个以上电子元件的芯片

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电子管  晶体管  集成电路  超大规模集成电路  
电子管  晶体管  集成电路  超大规模集成电路  
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小规模集成电路  中规模集成电路  大规模集成电路  大规模、超大规模集成电路  
晶体管  电子管  中、小规模集成电路  大规模和超大规模集成电路  
1000左右,1万个左右  3000-10万,10万-100万  100-5000,5000-1万  500-5万,5万-50万  
大规模集成电路  晶体管  集成电路  大规模或超大规模集成电路  
晶体管  集成电路  大规模集成电路  超大规模集成电路  

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