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电子管 晶体管 中、小规模集成电路 大规模、超大规模集成电路
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小规模集成电路 中规模集成电路 大规模集成电路 大规模、超大规模集成电路
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1000左右,1万个左右 3000-10万,10万-100万 100-5000,5000-1万 500-5万,5万-50万
大规模集成电路 晶体管 集成电路 大规模或超大规模集成电路
晶体管 集成电路 大规模集成电路 超大规模集成电路