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激光干涉仪可用于测量形位误差和长度尺寸。( )

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用于测量长度的激光干涉仪包括激光头干涉仪和3部分

主轴箱直线反射镜仪器底座工作台

下列不是激光干涉仪检验数控机床定位精度的测量误差来源

激光干涉仪的极限误差激光干涉仪安装误差温度误差机床的安装误差

双频激光干涉仪用于测量零件的孔径

激光干涉仪的测量长度为

60m 100m 80m 120m

激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点但测量长度受限制仅适用于小型坐标镗床

激光干涉仪不仅用于精密测量还可用于大型机床的精密定位

用于测量长度的激光干涉仪包括激光头干涉仪两部分

通常是用来测量数控机床滚珠丝杠的螺距误差

球杆仪光学水平仪激光干涉仪三坐标测量仪

双频激光干涉仪最大测量长度为m

20 40 60 100

激光干涉仪虽定位精度高但因测量长度受限制故仅适用于小型坐标镗床

激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点但测量长度受限制故仅适用于小型坐标镗床

用于测量长度的激光干涉仪包括激光头干涉仪和3部分

主轴箱直线反射镜仪器底座工作台

激光干涉仪的最大测量长度为

40m 60m 100㎜很长，几乎不受限制

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为基准通过光的干涉光电转换电

传播测量波长长度

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为长度基准通过光的干涉光电转

精确精密一般范围

双频激光干涉仪的测量精度为5×/LL为测量长度

10-5 10-6 10-7 10-8

双频激光干涉仪有较强的抗干扰能力测量速度和可测距离都大大超过单频激光干涉仪

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为长度基准通过光的干涉光电转

激光干涉仪不适合对误差进行测量

直线度圆度平面度垂直度

双频激光干涉仪的测量长度为80米

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