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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。（）

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简述激光干涉仪的工作原理及其应用

激光干涉仪可用于测量形位误差和长度尺寸

用于测量长度的激光干涉仪包括激光头干涉仪和3部分

主轴箱直线反射镜仪器底座工作台

下列不是激光干涉仪检验数控机床定位精度的测量误差来源

激光干涉仪的极限误差激光干涉仪安装误差温度误差机床的安装误差

双频道激光干涉仪可以测量

线位移角度摆动平直度直线度

双频激光干涉仪用于测量零件的孔径

激光干涉仪的应用主要有

精密测量精密定位直线度小角度平面度

激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点但测量长度受限制仅适用于小型坐标镗床

激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准利用光波干涉计数原理进行精密测量

用于测量长度的激光干涉仪包括激光头干涉仪两部分

激光干涉仪虽定位精度高但因测量长度受限制故仅适用于小型坐标镗床

当使用激光干涉仪检测机床定位精度时调整激光头应使激光干涉仪的光轴与机床移动的轴线

相交垂直在一条直线以一定角度相交以上均错

激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点但测量长度受限制故仅适用于小型坐标镗床

单频激光干涉仪的测量原理是

波长法信号接收法干涉计数法光电转法

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为基准通过光的干涉光电转换电

传播测量波长长度

激光干涉仪是利用干涉原理和激光的进行测量的

单色性平面波性高稳定性不发散性

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为长度基准通过光的干涉光电转

精确精密一般范围

双频激光干涉仪有较强的抗干扰能力测量速度和可测距离都大大超过单频激光干涉仪

激光干涉仪不适合对误差进行测量

直线度圆度平面度垂直度

双频激光干涉仪的测量长度为80米

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