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在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。

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是用来增加频谱中某些有限频段上的分辨能力即所谓局部频率扩展法

细化谱分析法倒频谱分析法时域同步平均法自适应消噪技术

什么是干法刻蚀什么是湿法刻蚀比较二者的优缺点

常用的磨屑分析方法有

光谱分析法铁谱分析法磁屑检测法红外检测法

采用色谱柱和检测器对混合气体先分离后检测的定性定量分析方法叫做

液相色谱分析法气相色谱分析法气固色谱分析法气液色谱分析法

实验室测定水中铬含量的分析方法是

质谱分析法电化学分析法光学分析法电导分析法

在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是和

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种

a.离子束刻蚀、激光刻蚀 b.干法刻蚀、湿法刻蚀 c.溅射加工、直写加工

食品仪器检测分析常用的有电化学分析法色谱分析法和

氧化还原法光学分析法酸碱滴定法络合滴定法

在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测

什么是干法刻蚀干法有几种刻蚀方法

干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件例如大于3微米

干法刻蚀有哪几种相应的内容是什么

根据原理分类干法刻蚀分成几种各有什么特点

高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统

下列有关ARC工艺的说法正确的是

ARC可以是硅的氮化物可用干法刻蚀除去 ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成 ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层 ARC膜也可以通过CVD的方法形成

实验室中测定水中铬含量的分析方法是

质谱分析法电化学分析法光学分析法电导分析法

利用两相间分配的分析方法是

光学分析法电化学分析法热分析法色谱分析法

湿法刻蚀和干法刻蚀的区别

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种

干法刻蚀、湿法刻蚀离子束刻蚀、激光刻蚀溅射加工、直写加工以上都可以

将一种带有磁性的探头检测器安装在滑油管路中的适当部位吸附滑油中磨损产物腐蚀产物和疲劳破坏的金属鳞片等

铁谱分析法光谱分析法磁塞法油液监测

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