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分别简述RVD和GILD的原理它们的优缺点及应用方向
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集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺各有什么优缺点
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杂质原子的扩散方式有哪几种它们各自发生的条件是什么从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散
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写出菲克第一定律和第二定律的表达式并解释其含义
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以P2O5为例多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况
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