在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测-X题卡

起点检查点中心终点检查点中心起点终点起点检查点终点中心

检测仪器感观经验数据

正常检测异常检测特征检测固定检测重点检测

终点检测器控制电路自动阀计量装置

日常点检、精度检测与可靠实验状态检测、精度调整与可靠实验定期检查、精度检测与可靠实验定期检查、状态检测、精度调整

三类四类五类

点检，是按规定的点检项目，检查液压设备是否完好点检可以及早发现问题，排除潜在的各种不良因素，还可以为设备维护提供第一手资料点检的主要方法是听、看、试点检可有可无

返回第一参考点检测返回第二参考点检测返回工件零点检测参考点返回检测

点检方法点检计划点检内容

日常点检专项点检定期点检移动点检

设备各部位的点检项目、点检内容、点检周期、判定标准值、点检方法、点检分工、以及在什么状态下点检等设备给油脂部位、周期、方法、分工、油脂的品种、规格、数量及检验周期检修作业方法、顺序、工作条件、使用器具、注意事项等设备各部位的维修管理值和检查方法。如温度、压力、流量、电流、电压、尺寸公差等允许值

凝固法主要分为电流法、光学法和磁珠法。凝固法是最常用的检测方法双磁路双磁珠法检测的是光信号凝固法以血浆凝固达50%时作为判定的终点底物显色法属生物化学法

在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。