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探伤类型 晶片背衬的致密性 频率和晶片尺寸 脉冲宽度
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水平线性、 垂直线性、 衰减器精度 灵敏度余量、 盲区与始脉冲宽度、 分辨率 动态范围、 频带宽度、 检测深度 垂直线性、 水平线性、 重复频率
降低发射超声波的基础频率 使接收线路的信噪比(S/N)提高 选择最佳的探头位置及角度 增加超声波发射的输出强度 调高多普勒增益
对晶片尺寸的选择 对角度的选择 对频率的选择 对脉冲宽度的选择
脉冲形状、脉冲幅度 垂直线性、频率响应 噪声和灵敏度、衰减调节 延迟和宽度