在酸性氯化铜蚀刻过程出现抗蚀剂破坏的原因可能有-X题卡

氯化铜氯化钠氯化铵氯化氢

滤液中一定有氯化镁，可能有氯化锌和氯化亚铁滤液中一定有氯化镁和氯化锌，可能有氯化铜滤渣中一定有铜和铁，可能有锌滤渣中一定有铜，可能有铁和锌

传送速度太快 pH值太低蚀刻液温度不足喷淋压力不足

蚀刻液的密度太低，造成温度过低，反应速度过慢蚀刻液的密度太低，溶液中的二价铜离子含量偏低蚀刻液的密度太低，即溶液的pH值太低蚀刻液的密度太低，溶液中的氯化铵含量太少

滤液中一定有氯化镁，可能有氯化锌和氯化亚铁滤液中一定有氯化镁和氯化锌，可能有氯化铜滤渣中一定有铜和铁，可能有锌滤渣中一定有铜，可能有铁和锌

滤液中一定有氯化镁，可能有氯化锌和氯化亚铁滤液中一定有氯化镁和氯化锌，可能有氯化铜滤渣中一定有铜和铁，可能有锌滤渣中一定有铜，可能有铁和锌

滤液中一定有氯化镁，可能有氯化锌和氯化亚铁滤液中一定有氯化镁和氯化锌，可能有氯化铜滤渣中一定有铜和铁，可能有锌滤渣中一定有铜，可能有铁和锌

滤液中一定有氯化镁，可能有氯化锌和氯化亚铁滤液中一定有氯化镁和氯化锌，可能有氯化铜滤渣中一定有铜和铁，可能有锌滤渣中一定有铜，可能有铁和锌

金锡铅合金油墨镍

滤液中一定有氯化镁，可能有氯化锌和氯化亚铁滤液中一定有氯化镁和氯化锌，可能有氯化铜滤渣中一定有铜和铁，可能有锌滤渣中一定有铜，可能有铁和锌

盐酸挥发抗蚀层破坏溶液组分比例失调无影响

氯化钠氯化氢氯化钙氯化镁

传送速度太慢 pH值过高蚀刻液比重偏低蚀刻液温度不足

锡干膜油墨都不是

在酸性氯化铜蚀刻过程出现抗蚀剂破坏的原因可能有（）。