精氩（或纯氩）含氮要求低于（）。

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精氩塔冷凝器的冷源是液氮。精氩塔冷凝器的热源是精氩气体。精氩塔蒸发器的冷源是精液氩。精氩塔蒸发器的热源是氮气。

氧氮氩氧氩氮氮氩氧氮氧氩

精氩塔是单高塔精氩塔的冷源可以是下塔过冷后的液氮精氩塔顶部余气排放量过大，可能会导致冻堵余气排放量过小，会使精氩中含氮量升高

粗氩塔II热负荷增加氩提取率降低容易氮塞粗氩塔II回流比增加

氧.氩.氮氮.氩.氧氧.氮.氩氮.氧.氩

0.025 0.0025 0.00025 0.000025

塔内阻力下降精氩产量上升精氩产量下降塔内压力不变

高于氧低于氮在氧氮之间低于空气

氩纯度99.9996%，氧含量≤1×10-6 氩纯度99.9993%，氧含量≤1×10-6 氩纯度99.999%，氧含量≤1×10-5 氩纯度99.99%，氧含量≤10×10-6

下塔液空自动阀调节不灵活氩馏份中含氮量升高粗氩塔及精氩塔阻力下降减小粗氩塔冷凝器液空回流阀（但冷凝器液空液位不变）

降低不变提高无法确定

冷凝法冻结法精馏法吸附法

最新的无氢制氩流程制氧机，在取消精氩塔的情况下，可生产出高纯液氩。粗氩塔的高度增加，是因为填料塔的等板高度大于筛板塔。该流程中比常规流程中增设了两台液氩泵。完全不需要氢气就可制出高纯氩。