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半导体压力传感器的硅膜片,一面接触的是真空室压力,一面接触的是( )压力。

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半导体式  真空膜盒式  光电式  其他形式  
硅膜片  引线  绝缘体  硅杯  
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其他形式  半导体式  光电式  真空膜盒式  
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