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制备硅半导体材料必须先得到高纯硅。三氯甲硅烷(SiHCl3)还原法是当前制备高纯硅的主要方法,生产过程示意图如下: (1)写出由石英砂制取粗硅的化学方程式 ...

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三氯甲硅烷(SiHCl3)属于有机物   上述流程中可循环使用的物质是H2、HCl   “精馏”是蒸馏的一种,其原理是利用混合物成分的密度不同  从粗硅到SiHCl3(粗)的化学反应方程式为:Si + HCl SiHCl3 + H2   

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