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简述非晶氢化氮化硅(α-SiNx:H)薄膜的优点及其制备工艺。

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氮化硅中Si、N.两种元素的质量比为3:4    氮化硅中氮元素的质量分数为40%   140g氮化硅中含硅元素的质量为84g    氮化硅的相对分子质量为140g  
氮化硅是一种原子晶体   氮化硅中存在极性共价键   氮化硅的化学式是Si3N4   氮化硅中各原子最外层电子全部参与形成化学键  
晶圆顶层的保护层  多层金属的介质层  多晶硅与金属之间的绝缘层  掺杂阻挡层  晶圆片上器件之间的隔离  
氮化硅是分子晶体   氮化硅是原子晶体   氮化硅是离子晶体   氮化硅化学式为Si4N3  
晶须增强陶瓷  晶须减弱陶瓷  纯氧化铜陶瓷  纯氧化镁陶瓷  
氮化硅中Si、N.两种元素的质量比为3:4   氮化硅中氮元素的质量分数为40%   140g氮化硅中含硅元素的质量为84 g   氮化硅的相对分子质量为140 g  
分离出少量氮化硅     降低温度     充入氮气     充入氦气  
氮化硅中Si.N两种元素的质量比为4:3  氮化硅中氮元素的质量分数为60%  14g氮化硅中含硅8.4g  氮化硅的相对分子质量为l44  
氮化硅中Si、N.两种元素的质量比为4:3   氮化硅中氮元素的质量分数为60%   14g氮化硅中含硅8.4g   氮化硅的相对分子质量为l44  

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