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非单向流洁净室远离回风口处 非单向流洁净室靠近回风口处 垂直单向流洁净室内 水平单向流洁净室内
非单向流洁净室通常适用5级以上 非单向流洁净室通常适用5级以下 辐流洁净室的能耗高于单向流洁净室 非单向流洁净室通常适用1~9级
165800m3/h 170900m3/h 172800m3/h 182600m3/h
非单向流洁净室靠近回风口处 非单向流洁净室远离回风口处 混合流洁净室内 单向流洁净室内
单向流洁净室内不宜布置洁净工作台,非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧 送风口的风速不宜过小
非单向流洁净室靠近回风口处 非单向流洁净室远离回风口处 水平单向流洁净室内 垂直单向流洁净室内
151200m3/h 126800m3/h 130600m3/h 129600m3/h
3.1,33.3 3.2,33.3 3.3,35 3.4,20
368000m3/h 432000m3/h 456000m3/h 462000m3/h
216000m3/h 432000m3/h 825000m3/h 864000m3/h