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侧墙用来环绕多晶硅栅,防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。

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二氧化硅氮化硅  多晶硅硅化金属  单晶硅多晶硅  铝铜  铝硅  
严格控制在能源短缺,电价较高的地区新建多晶硅项目  严格限制多晶硅生产企业与下游太阳能电池生产企业加强联合与合作,延伸产业链  新建多晶硅项目规模必须大于3000t/a  太阳能级多晶硅还原尾气中四氯化硅,氯化氢,氢气回收利用率不低于98.5%,99%,99%  引导,支持多晶硅企业以多种方式实现多晶硅-电厂-化工联营  

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