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制氧设备按纯度分为()。

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软化水  蒸馏水  高纯度  纯净水  
__装置  中压装置  全低压装置  高低压装置  
回流比大时,所得气相氮纯度低,液相氧纯度高;  回流比大时,所得气相氮纯度高,液相氧纯度低;  回流比小时,所得气相氮纯度高,液相氧纯度低;  回流比小时,所得气相氮纯度低,液相氧纯度高。  
氩纯度99.9996%,氧含量≤1×10-6  氩纯度99.9993%,氧含量≤1×10-6  氩纯度99.999%,氧含量≤1×10-5  氩纯度99.99%,氧含量≤10×10-6  

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