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真空泵的停运步骤是什么?

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停止加热——停真空泵——关冷却水——通入氮气吹扫置换  关冷却水——停止加热——停真空泵——通入氮气吹扫置换  关冷却水——通入氮气吹扫置换——停真空泵——停止加热  停止加热——通人氮气吹扫置换——停真空泵——关冷却水  
停止加热→缓慢放空→停真空泵→自然冷却  停真空泵→停止加热→自然冷却→缓慢放空  停止加热→自然冷却→缓慢放空→停真空泵  停止加热→自然冷却→停真空泵→缓慢放空  
先停二级真空泵  先停三级真空泵  先停一级真空泵  三级同时停止工作