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黑十字干涉图 黑十字干涉图和同心圆干涉色色圈 无干涉图 黑十字及卵形干涉图
动态干涉检查 装配干涉检查 组件干涉检查 静态干涉检查
相对干涉量1-2% 相对干涉量1.5-2% 相对干涉量1.5-3% 相对干涉量1-3.5%
干涉图样不变 干涉图样下移 干涉图样上移 不产生干涉条纹
干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度减弱 干涉条纹的间距变窄，但明纹的亮度减弱 干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度加强 无干涉条纹
干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度加强 干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度减弱 干涉条纹的间距变窄，但明纹的亮度减弱 无干涉条纹
干涉条纹间距不变，且明纹亮度加强 干涉条纹间距不变，但明纹亮度减弱 干涉条纹的间距变窄，且明纹的亮度减弱 无干涉条纹
干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度加强 干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度减弱 干涉条纹的间距变窄，但明纹的亮度减弱 无干涉条纹
干涉图样不变 干涉图样下移 干涉图样上移 不产生干涉条纹
干涉图样不变 干涉图样下移 干涉图样上移 不产生干涉条纹
无干涉条纹 干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度加强 干涉条纹的间距变窄，且明纹的亮度减弱 干涉条纹的间距不变，但明纹的亮度减弱
分波阵面法双光束干涉 分振幅法双光束干涉 分波阵面法多光束干涉 分振幅法多光束干涉
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