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洁净层流罩安装高度的允许偏差为( )mm。

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固定牢固  垂直度允许偏差为3mm,当箱的高度大于1.2m时,垂直度允许偏差为4mm  水平度的允许偏差为3mm  与墙面距离不能小于0.5m  
幕墙高度≤30m时允许偏差为10mm  20m<幕墙高度≤50m时允许偏差为15mm  60m<幕墙高度≤90m时允许偏差为20mm  幕墙高度>90m时允许偏差为25mm  30m<幕墙高度≤60m时允许偏差为15mm  
应采用独立的防晃支架  利用生产设备作为支撑  安装高度允许偏差1mm  不小于1h的连续试运转  
安装设备与其他设备无联系的,设备的平面位置和标高对安装基准线有一定的允许偏差  设备安装基准线的允许误差为;平面位置允许偏差为±10/mm,标高允许偏差(+20,-10)/mm  与其它机械设备有联系的,设备的平面位置和标高对安装基准线有一定的允许偏差  与有联系设备关联的安装基准线允许误差为;平面位置允许偏差为±20/mm,表格允许偏差±10/mm  
固定牢固  垂直度允许偏差为 3mm,当箱的高度大于 1.2m时,垂直度允许偏差为 4mm  水平度的允许偏差为 3mm  与墙面距离不能小于 0.5m  
洁净室的顶板和壁板应为不燃材料  洁净室的地面应干燥、平整,平整度允许偏差为2/1000  洁净室吊顶在受荷载后应保持平直,压条全部紧贴  安装后的墙板的垂直允许偏差为1/1000  顶板水平度的允许偏差与每个单间的几何尺寸的允许偏差均为2/1000  
可以不设独立的吊杆,但要有防晃的固定措施  需设独立的吊杆,并有防晃的固定措施  层流罩安装的水平度允许偏差为1/1000,高度的允许偏差为±1mm  层流罩安装在吊顶上,其四周与顶板之间应设有密封及隔振措施  层流罩安装的水平度允许偏差为1/2000,高度的允许偏差为±5mm  
架空坐标的允许偏差为15mm  架空标高的允许偏差为±10mm  地沟坐标的允许偏差为10mm  地沟标高的允许偏差为±15mm  成排管道间距的允许偏差为3mm  

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