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激光加工与离子束加工要求有真空装置。

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电火花加工  超声波加工  离子束加工  光加工  
激光加工  粉末冶金  离子束加工  
离子束加工  电解加工  等离子体加工  电刷镀  
目前特种加工中最精密、最微细的加工  离子撞击工件表面,将机械能转换成热能,使工件表面融化、气化去除材料  加工在高真空中进行,污染少,特别适于易氧化金属加工  靠离子轰击材料表面原子进行加工,加工应力和变形极小  
a.离子束刻蚀、激光刻蚀  b.干法刻蚀、湿法刻蚀  c.溅射加工、直写加工  
离子束加工  激光加工  超声加工  电子束加工  
干法刻蚀、湿法刻蚀  离子束刻蚀、激光刻蚀  溅射加工、直写加工  以上都可以