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激光干涉仪的最小分辩率为（）。

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双频激光干涉仪的最小分辨率为

0.8μm 0.08μm 15μm 25μm

简述激光干涉仪的工作原理及其应用

激光干涉仪可用于测量形位误差和长度尺寸

用于测量长度的激光干涉仪包括激光头干涉仪和3部分

主轴箱直线反射镜仪器底座工作台

下列不是激光干涉仪检验数控机床定位精度的测量误差来源

激光干涉仪的极限误差激光干涉仪安装误差温度误差机床的安装误差

双频激光干涉仪用于测量零件的孔径

激光干涉仪的测量长度为

60m 100m 80m 120m

双频激光干涉仪的最小分辨率为μm

0.10 0.08 0.05 0.01

激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准利用光波干涉计数原理进行精密测量

用于测量长度的激光干涉仪包括激光头干涉仪两部分

CSU声波测井仪分辩率为±1μs/ft

双频激光干涉仪最大测量长度为m

20 40 60 100

当使用激光干涉仪检测机床定位精度时调整激光头应使激光干涉仪的光轴与机床移动的轴线

相交垂直在一条直线以一定角度相交以上均错

CSU声波测井仪垂直分辩率600mm

双频激光干涉仪最少分辨力为m

0.8 0.08 0.008 0.0008

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为基准通过光的干涉光电转换电

传播测量波长长度

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为长度基准通过光的干涉光电转

精确精密一般范围

双频激光干涉仪有较强的抗干扰能力测量速度和可测距离都大大超过单频激光干涉仪

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度以其波长0.6823μm的激光为长度基准通过光的干涉光电转

双频激光干涉仪的测量长度为80米

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