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光刻胶是一种应用广泛的光敏材料,其合成路线如图(部分试剂、反应条件和产物已略去): 已知:Ⅰ.(R1、R2为烃基或氢) Ⅱ.(R1、R2为烃基) (1)A分子的名称为   ,B分子中所含官能...

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除去光刻胶中剩余的溶剂  增强光刻胶对晶片表面的附着力  提高光刻胶的抗刻蚀能力  有利于以后的去胶工序  减少光刻胶的缺陷  
树脂  感光剂  HMDS  溶剂  PMMA  
CA光刻胶对深紫外光吸收小  CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化  CA光刻胶在显影液中的可溶性强  有较高的光敏度  有较高的对比度  

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