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等离子体是物质的另一种聚集状态 等离子体是很好的导体 水不可能形成等离子体状态 等离子体的用途十分广泛
微粒带有电荷 高能量 基本构成微粒多样化 准电中性
若等离子体从右方射入，F.向左 若等离子体从右方射入，F.向右 若等离子体从左方射入，F.向左 若等离子体从左方射入，F.向右
等离子体的加热效能极强 生成的氧等离子体具有极强氧化能力 等离子体不会破坏待测组分 等离子体对蛋白质分解彻底
等离子体蚀刻系统的形态 等离子体蚀刻的参数 光刻胶 待蚀刻薄膜的淀积参数条件
物质一般有固态、液态和气态三态，等离子体被认为是物质存在的第四态 为了使气体变成等离子体，必须使其通电 等离子体通过电场时所有粒子的运动方向都发生改变 等离子体性质稳定，不易发生化学反应
电感耦合高频等离子炬 直流等离子体喷焰 交流等离子体喷焰 电容耦合微波等离子炬
等离子体内部全部是带电荷的微粒 等离子体中正、负电荷大致相等 等离子体具有很好的导电性 等离子体用途十分广泛
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