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单晶硅谐振式压力(差压)变送器在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术,在其表面的中心和边缘制作成两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁,分别将压力或差压信号转换为( ),送到脉冲计数器,再将两频率之差直...

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扩散硅芯片由单晶硅经过采用集成工艺技术经过掺杂、扩散制成  其硅片上沿单晶硅的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥  集力敏与力电转换检测于一体  根据压阻效应,将压力转换成破坏惠斯凳电桥桥路平衡的电流,再根据电流变化与压力大小的非线性关系,推算压力大小。  
电容  硅谐振器  振弦  硅油  
单晶硅谐振式传感器  智能电器转换部件  输出放大电路  精度补偿传感器  
单晶硅谐振式传感器  输入放大电路  输出放大电路  精度补偿传感器  
包端(弹簧)管和波纹管  膜片和膜盒  单晶硅  电阻  
电容  硅谐振器(谐振梁)  振弦  硅油  
A扩散硅压力变送器  B单晶硅谐振压力变送器  C电容式压力变送器  

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